電子軌道 (Electron Trajectory)¶
電子飛程シミュレータ は、試料内部の電子の軌跡を モンテカルロ法 で計算します。入射電子は弾性・非弾性散乱を受け、後方散乱電子の分布(方向・エネルギー・侵入深さ)が集計されます。これらの分布は EBSDシミュレーション の方位・エネルギー・深さの重み付けにも利用されます。
計算条件¶
ビームエネルギー、入射電子数、試料・物質、その他のモンテカルロパラメータ。
ステレオネットオプション¶
ステレオネット投影に描画する角度分布の表示オプション。
統計情報¶
後方散乱率・平均自由行程・侵入深さなど、計算結果の要約。
後方散乱電子の方位分布¶
後方散乱電子の角度分布(ステレオネット中心は表面法線方向)。
プロファイル¶
電子の深さ・エネルギープロファイル。






