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電子軌道 (Electron Trajectory)

電子飛程シミュレータ は、試料内部の電子の軌跡を モンテカルロ法 で計算します。入射電子は弾性・非弾性散乱を受け、後方散乱電子の分布(方向・エネルギー・侵入深さ)が集計されます。これらの分布は EBSDシミュレーション の方位・エネルギー・深さの重み付けにも利用されます。

電子軌道


計算条件

計算条件

ビームエネルギー、入射電子数、試料・物質、その他のモンテカルロパラメータ。


ステレオネットオプション

ステレオネットオプション

ステレオネット投影に描画する角度分布の表示オプション。


統計情報

統計情報

後方散乱率・平均自由行程・侵入深さなど、計算結果の要約。


後方散乱電子の方位分布

後方散乱電子の方位分布

後方散乱電子の角度分布(ステレオネット中心は表面法線方向)。


プロファイル

プロファイル

電子の深さ・エネルギープロファイル。

後方散乱電子の試料脱出時のエネルギー

後方散乱電子の試料脱出時のエネルギー