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电子轨迹

轨迹模拟器 使用 蒙特卡罗法 计算电子在样品内部的轨迹:入射电子经历弹性和非弹性散射,由此得到的背散射电子分布(方向、能量、穿透深度)被累加统计。这些分布还为 12. EBSD 模拟 所用的方位/能量/深度加权提供数据。

电子轨迹


键盘和鼠标快捷键

轨迹显示在 3D OpenGL 视图中。它采用 ReciPro 的标准 视图导航,但 平移已被禁用 — 请使用视图预设按钮跳转到标准取向。

快捷键 操作
F1 打开本页在线手册
左键拖动 旋转模型
右键上下拖动,或鼠标滚轮 缩放
CTRL + 右键双击 切换正射/透视投影

→ 全部窗口一览请参见 21. 键盘和鼠标快捷键


计算条件

入射束能量、入射电子数、样品/材料以及其他蒙特卡罗参数(参见上方的概览截图)。

束流能量

入射电子束的加速电压 (keV)。设定弹性 (Mott) 与非弹性(介电响应)散射模型所共用的动能。

入射电子数

要模拟的电子数量。电子越多,统计噪声越小,但运行时间随之线性增加。

样品 / 材料

样品的组成和密度。默认采用主窗口中当前选择的晶体,但在仅进行轨迹研究时可以覆盖。

样品倾斜

样品倾斜角。当轨迹数据馈入 EBSD 模拟器 时使用(EBSD 通常为 70°)。

截面模型

弹性散射截面模型 (Mott / Bethe / NIST)。不同的模型在大倾斜角或接近吸收边时,在速度与精度之间作不同的权衡。


极射赤平投影选项

绘制在极射赤平投影上的角度分布的显示选项(参见上方的概览截图)。

投影法

Wulff(等角)或 Schmidt(等积)投影。读取统计密度时通常优先选用 Schmidt。

半球

绘制上半球(背散射侧)或下半球(透射侧)。

分辨率 / 色阶

角度直方图的分箱大小,以及用于密度显示的色彩映射。


统计信息

统计信息

运行结果的摘要。

  • 背散射产额 — 经入射面射出的入射电子所占比例。
  • 平均自由程 — 散射事件之间的平均距离。
  • 平均穿透深度 — 电子在射出或被吸收之前所达到的平均最大深度。
  • 耗时 / 吞吐量 — 运行的实际时钟开销。

BSE 方向分布

BSE 方向分布

背散射电子的角度分布(极射赤平投影中心对应表面法线方向)。黄色/橙色轮廓(若存在)标示 EBSD 探测器所张成的区域。


剖面图

剖面图

模拟电子的深度和能量剖面图。

深度剖面图

背散射电子最终射出深度 (nm) 的直方图。EBSD 模拟器用它来对 master pattern 的深度积分进行加权。

能量剖面图

背散射电子能量损失 ΔE (keV) 的直方图。EBSD 模拟器用它来对能量积分进行加权。


另见