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電子軌跡

Trajectory Simulator蒙地卡羅法計算試樣內部的電子軌跡:入射電子會發生彈性與非彈性散射,並累積由此產生的背向散射電子分布(方向、能量、穿透深度)。這些分布也提供 12. EBSD 模擬所使用的角度/能量/深度加權。

Electron Trajectory


鍵盤與滑鼠快速鍵

軌跡顯示於 3-D OpenGL 檢視中。它使用 ReciPro 標準的檢視導覽,但平移已停用 — 請使用檢視預設按鈕跳至標準方位。

快速鍵 動作
F1 開啟線上手冊的本頁
左鍵拖曳 旋轉模型
右鍵向上/向下拖曳,或滑鼠滾輪 縮放
CTRL + 右鍵雙擊 切換正交/透視投影

→ 請參閱 21. 鍵盤與滑鼠快速鍵,一覽所有視窗。


計算條件

電子束能量、入射電子數、試樣/材料,以及其他蒙地卡羅參數(請見上方的概覽截圖)。

電子束能量

入射電子束的加速電壓(keV)。設定彈性(Mott)與非彈性(介電響應)散射模型所使用的動能。

入射電子數

要模擬的電子數量。電子數越多可降低統計雜訊,但會使執行時間呈線性增加。

試樣/材料

試樣的組成與密度。預設為主視窗中目前所選的晶體,但可針對純軌跡研究加以覆寫。

試樣傾斜

試樣傾斜角。當軌跡資料提供給 EBSD 模擬器時使用(EBSD 通常為 70°)。

截面模型

彈性散射截面模型(Mott / Bethe / NIST)。不同模型在大傾斜角或接近吸收邊時,以速度換取準確度。


極網選項

繪製於立體投影上之角度分布的顯示選項(請見上方的概覽截圖)。

投影方法

Wulff(等角)或 Schmidt(等面積)投影。讀取統計密度時通常偏好使用 Schmidt。

半球

繪製上方(背向散射)或下方(穿透)半球。

解析度/色階

角度直方圖的分組寬度,以及密度顯示所使用的色彩對應。


統計

統計

執行結果的摘要。

  • 背向散射產率 — 由入射面射出的入射電子比例。
  • 平均自由程 — 散射事件之間的平均距離。
  • 平均穿透深度 — 電子在射出或被吸收之前所達到的平均最大深度。
  • 經過時間/處理量 — 該次執行的實際時間成本。

BSE 方向分布

BSE方向分佈(極網中心對應於表面法線方向)

背向散射電子的角度分布(極網中心對應於表面法線方向)。黃色/橙色輪廓(若存在)標示 EBSD 偵測器所涵蓋的區域。


剖面圖

Profiles

所模擬電子的深度與能量剖面圖。

深度剖面圖

背向散射電子最終射出深度(nm)的直方圖。EBSD 模擬器用此對 master pattern 的深度積分加權。

能量剖面圖

背向散射電子能量損失 ΔE(keV)的直方圖。EBSD 模擬器用此對能量積分加權。


另請參閱