Ir para o conteúdo

Simulação STEM

A simulação STEM (Scanning Transmission Electron Microscopy) calcula imagens de microscopia eletrônica de transmissão por varredura usando o método de ondas de Bloch.

Simulador no modo STEM

Esta página lista todas as configurações que aparecem à direita quando Image mode = STEM. Para os controles de exibição do resultado, brilho e normalização à esquerda, consulte a página de visão geral. Apenas o alvo de exibição específico do STEM é repetido abaixo.


Visão geral

Um feixe eletrônico convergente é varrido sobre a amostra, e os elétrons transmitidos e espalhados em cada posição de varredura são coletados por detectores anulares. O ReciPro calcula a imagem STEM com o método de ondas de Bloch (cálculo dinâmico).

Fluxo de cálculo

  1. Em cada posição de varredura, calcule as intensidades difratadas com o método de ondas de Bloch para cada direção de incidência da sonda convergente.
  2. Integre a intensidade espalhada sobre a faixa angular do detector.
  3. Tanto as contribuições de espalhamento elástico quanto de espalhamento térmico difuso (TDS) podem ser calculadas.

Consulte o Apêndice A3.4 — Cálculo STEM para a teoria.


Tipos de detector

Detector Faixa angular Contribuição principal Contraste
BF (campo claro) 0 – ângulo de convergência Elástico Contraste de fase
ABF (campo claro anular) Parte interna do ângulo de convergência Elástico Sensível a elementos leves
LAADF (campo escuro anular de baixo ângulo) Logo fora do ângulo de convergência Elástico + TDS Sensível a deformações
HAADF (campo escuro anular de alto ângulo) Bem fora do ângulo de convergência TDS (inelástico) Contraste-Z (\(\propto Z^2\))

Configurações típicas de detector (cada uma disponível com um clique no menu de clique direito das opções STEM, todas com ângulo de convergência α = 25 mrad): BF (0–5 mrad) / ABF (12–24 mrad) / LAADF (26–60 mrad) / HAADF (80–250 mrad)


Parâmetros da amostra

Parâmetros da amostra

  • Thickness : espessura da amostra (nm). Este valor é ignorado no modo Serial image.

Condições TEM

Condições TEM

Parâmetro Descrição Padrão / típico
Acc. Vol. (kV) Tensão de aceleração. O comprimento de onda do elétron corrigido relativisticamente é exibido ao lado 200 kV
Defocus Δf Desfocagem da lente objetiva (formadora da sonda) (nm) −57.8 nm
Cs Coeficiente de aberração esférica (mm). Afeta o tamanho da sonda 0.5–1.0 mm
Cc Coeficiente de aberração cromática (mm) 1.0–2.0 mm
ΔV (FWHM) Largura a meia altura da dispersão de energia dos elétrons (eV) 0.5–2.0 eV

β (semiângulo de iluminação) está desativado no modo STEM, porque o ângulo de convergência α assume o seu papel.


Opções STEM (óptica)

Opções STEM (óptica)

Defina a geometria da sonda convergente e do detector anular. Cada ângulo também é exibido convertido em um raio no espaço recíproco \(\sin\theta/\lambda\) (nm⁻¹) à direita.

Parâmetro Descrição Padrão / típico
α (convergence angle) Semiângulo da sonda convergente (mrad). Valores maiores geram uma sonda mais fina e alteram o contraste de difração 15–25 mrad
(Annular) detector inner angle Semiângulo interno de coleta do detector anular (mrad). O sinal dentro desse ângulo é excluído BF: 0, HAADF: 80
(Annular) detector outer angle Semiângulo externo de coleta do detector anular (mrad). O sinal fora desse ângulo é excluído BF: 5, HAADF: 250
Effective source size σs (FWHM) Tamanho efetivo da fonte de elétrons. Valores maiores borram a sonda e reduzem o contraste de detalhes finos

Opções STEM (simulação)

Opções STEM (simulação)

  • Slice thickness for inelastic : espessura de fatia da amostra (nm) usada ao calcular a intensidade TDS (térmico-difuso, inelástico). Valores menores são mais precisos, mas mais lentos.
  • Angular resolution : resolução de amostragem angular das direções de incidência da sonda (mrad). Valores menores amostram a sonda mais finamente, mas são mais lentos.

Modo de imagem (single / serial)

Modo de imagem

  • Single image : calcula uma imagem STEM na espessura atual.
  • Serial image : gera uma série de imagens com a espessura / desfocagem variada em etapas (definidas por Start / Step / Num; a lista abaixo também pode ser editada diretamente).

Propriedades da imagem

Propriedades da imagem

  • Size (W×H) : número de pixels na imagem varrida (padrão 512×512). No STEM isso equivale ao número de pontos de varredura e escala o tempo de cálculo linearmente.
  • Resolution : resolução de amostragem (pm/px).

Ondas difratadas

Ondas difratadas

  • Max Bloch waves : número máximo de ondas de Bloch usadas no método de Bethe (padrão 80). O custo do problema de autovalores escala com o cubo do número de ondas.

Alvo de exibição STEM (lado do resultado)

Imagem STEM

A chave de exibição no canto inferior esquerdo da janela seleciona qual componente de espalhamento da imagem STEM já calculada deve ser mostrado (alternável sem recalcular).

Alvo de exibição Descrição
Elastic Imagem somente de espalhamento elástico
TDS Imagem somente de espalhamento térmico difuso
Elastic & TDS Soma de elástico + TDS

Custo computacional

A simulação STEM é computacionalmente cara, portanto defina os parâmetros a seguir adequadamente.

Fator Impacto
Ângulo de convergência Maior → mais sobreposição dos discos CBED → custo maior
Ondas de Bloch O custo do problema de autovalores escala com N³
Resolução angular Mais fina → mais precisa, mas o custo escala com N²
Pixels da imagem (Size) Escala linear com o número de pontos de varredura

Importância do fator de temperatura

Para a simulação HAADF-STEM, os átomos devem ter um fator de temperatura isotrópico (fator de Debye-Waller) diferente de zero. Se o valor for desconhecido, defina \(B \approx 0.5\ \text{Å}^2\). Com um fator de temperatura nulo, a intensidade TDS é zero e a imagem HAADF não é calculada corretamente.

Detector Faixa Contribuição principal
BF, ABF Dentro do ângulo de convergência Elástico
LAADF, HAADF Fora do ângulo de convergência Inelástico (TDS)

Comparação com o Dr. Probe

Confirmou-se que as simulações STEM do ReciPro concordam estreitamente com a amplamente utilizada GUI Dr. Probe (v1.10). A figura abaixo compara as duas para os detectores BF, ABF, LAADF e HAADF ao longo de uma série de espessuras (2.96–60.05 nm), tanto sem aberração (esquerda) quanto com Cs = 0.2 mm, desfocagem = −25.9 nm (direita). Os dois códigos concordam em todos os tipos de detector e espessuras.

Comparação de simulação STEM: Dr. Probe vs ReciPro

Um relatório mais detalhado está disponível em PDF: Comparação de simulações STEM pela GUI Dr. Probe (v1.10) e ReciPro (v4.854).


Veja também