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STEM 计算

STEM 图像计算从与 CBED 相同的会聚探针表示出发。区别在于可观测量:CBED 显示衍射平面中的盘强度,而 STEM 扫描探针位置,并在每个位置积分进入所选探测器的强度。


可观测量

\(\mathbf R_0\) 为探针位置,\(\mathbf Q\) 为衍射平面坐标,\(t\) 为样品厚度。若探测器函数 \(D(\mathbf Q)\) 在探测器角度范围内为 1、范围外为 0,则弹性 STEM 强度为

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{ela}}(\mathbf R_0)= \int D(\mathbf Q)\, \left|\psi(\mathbf Q,t;\mathbf R_0)\right|^2\,d\mathbf Q\]

BF、ABF、LAADF 和 HAADF 对应于 \(D(\mathbf Q)\) 中内、外角度的不同选择。因此改变 STEM 探测器角度会改变所积分的物理量;这不仅仅是一项显示设置。


通过傅里叶系数加速

直接的实现会对每个被扫描的探针位置 \(\mathbf R_0\) 重新求解动力学问题。会聚探针表达式具有一个有用的结构:对 \(\mathbf R_0\) 的依赖以相位因子的形式出现

\[\exp(-2\pi i\,\mathbf K\cdot\mathbf R_0)\]

这使得 ReciPro 可以先计算图像的二维傅里叶系数,而不必逐点计算 \(I_{\mathrm{STEM}}(\mathbf R_0)\)。从概念上讲,

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{ela}}(\mathbf q)= \sum_{\mathbf g,\mathbf h} F_{\mathbf g,\mathbf h}(t)\, \delta(\mathbf q-\mathbf g+\mathbf h)\]

因此一旦已知系数 \(F_{\mathbf g,\mathbf h}(t)\),便可通过逆傅里叶变换高效地重建完整的扫描图像。

这是布洛赫波 STEM 对于具有小晶胞的完美晶体的主要优势。它可以比在每个探针位置重复一次多层切片(multislice)计算快得多。


重建为实数图像

图像由系数按下式还原:

\[I(\mathbf r)=\sum_{\mathbf q}I(\mathbf q)\,\exp(2\pi i\,\mathbf q\cdot\mathbf r), \qquad \mathbf q=\mathbf g-\mathbf h\]

由于 \(I(\mathbf r)\) 是实数强度,其系数必须严格满足厄米对称性:

\[I(-\mathbf q)=I(\mathbf q)^{*}\]

而由所有束对生成的 \(\mathbf q\) 集合在 \(\mathbf q\rightarrow-\mathbf q\) 下是封闭的。因此该求和在构造上即为实数,任何残留的虚部都是数值误差而非物理

实际上确实会残留很小的虚部,因为 \(\mathbf k+\mathbf q\) 处的振幅是在有限的入射方向网格上通过双线性插值得到的(参见探针的角度采样)。这使得 \(I(-\mathbf q)\)\(I(\mathbf q)^{*}\) 相差 \(h^{2}\) 量级,其中 \(h\) 为角度步长。

将求和后的像素写作 \(a+ib\),把它归约为实数图像的正确做法是取实部 \(a\)。这是向实轴的正交投影,与先将系数对称化

\[I_{\mathrm{sym}}(\mathbf q)=\tfrac12\left[I(\mathbf q)+I(-\mathbf q)^{*}\right]\]

再求和完全等价。而取模 \(\sqrt{a^{2}+b^{2}}\simeq a+b^{2}/2a\) 并不等价,且在四个方面都是错误的:

  • 额外项 \(b^{2}/2a\) 恒为正,因而永不抵消——这是偏置而非噪声;
  • \(a\) 较小处,即像素处,它相对信号最大,因此侵蚀的是图像衬度而非整体亮度;
  • 它破坏线性性,由于 \(\lvert z_1+z_2\rvert\neq\lvert z_1\rvert+\lvert z_2\rvert\),合成图像不再等于弹性 + TDS;
  • 它掩盖负值像素,而负值正是 \(\mathbf q\) 取样不足的可见征兆,本应作为对用户的警示保留下来。

因此 ReciPro 的弹性、TDS 与 STEM-EDX 图像均由实部重建,并且仅在光源尺寸引起的模糊之后才截断到零,使真正为负的像素在此之前始终可被检出。

Note

4.944 之前的版本对弹性图像与 TDS 图像取模求和。在默认角度网格下,其差异远低于任何可察觉的水平(见下表);只有在刻意采用粗网格时才会变得可测,且表现形式始终是暗像素略微变亮。


探针的角度采样

入射锥在步长为 \(\Delta\alpha\)STEM 选项中的角分辨率)的方形方向网格上采样,以少量余量覆盖会聚半角 \(\alpha\)。沿一个轴的分割数为

\[N=\left\lceil\frac{2\alpha\times1.05}{\Delta\alpha}\right\rceil\]

因而方向数——也即需要求解的本征值问题数——按 \(N^{2}\) 增长。该网格与扫描点数无关:它离散化的是探针内部的方向,而非探针的位置

它也是上述厄米残差的唯一来源,因此该残差可直接用作收敛指标。下列数值测自 SrTiO₃ [001]、200 kV、\(\alpha=25\) mrad、128 束、32×32 扫描点。「残差」为 \(\max_{\mathbf q}\lvert I(\mathbf q)-I(-\mathbf q)^{*}\rvert\) 相对 \(I(\mathbf 0)\) 的值,右侧两列给出取模求和本会在最亮像素上增加的变亮量。

\(N\) 方向数 弹性残差 TDS 残差 取模偏置(弹性) 取模偏置(TDS)
16 256 1.2×10⁻³ 6.1×10⁻³ 2.4×10⁻⁵ 1.1×10⁻⁴
32 1024 4.1×10⁻⁴ 2.6×10⁻³ 1.1×10⁻⁶ 1.3×10⁻⁵
64 4096 5.6×10⁻⁵ 7.2×10⁻⁴ 5.8×10⁻⁸ 4.3×10⁻⁷
132 17424 3.8×10⁻⁵ 1.1×10⁻⁴ 4.2×10⁻⁸ 3.6×10⁻⁸

默认角分辨率 0.4 mrad 对 \(\alpha=25\) mrad 给出 \(N=132\),已处于收敛区。另有两点值得注意:

  • 在任何网格下,TDS 残差都比弹性残差大约一个量级,因为 TDS 系数还多带了一重探测器选择吸收的厚度积分。
  • 残差是对全部 \(\mathbf q\) 取的最大值,因此逐网格略有起伏而非完全平滑下降;其背后的趋势为 \(O(h^{2})\)

TDS 与探测器选择性吸收

在 HAADF-STEM 中,来自热漫散射 (TDS) 的非弹性分量往往是图像衬度的主要来源。ReciPro 将 TDS 处理为从弹性通道中移除并进入所选角度范围的强度,并用吸收势来表示。

对于探测器角度范围 \(\theta_1\leq\theta\leq\theta_2\),探测器选择性吸收散射因子在概念上可写为

\[f'_{\kappa}(\mathbf g;\theta_1,\theta_2)= \int_{\theta_1}^{\theta_2}\sin\theta\,d\theta \int_0^{2\pi} \left|\Delta f_{e,\kappa}(\mathbf g,\theta,\phi)\right|^2\,d\phi\]

将该范围选取为与 BF、ADF 或 HAADF 探测器相匹配,即可计算出进入该探测器的 TDS 贡献。

STEM TDS 强度是探测器选择性吸收的厚度积分:

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{TDS}}(\mathbf R_0)= \int_0^t \langle\psi(z;\mathbf R_0)|\widehat W_{\mathrm{det}}|\psi(z;\mathbf R_0)\rangle\,dz\]

其中 \(\widehat W_{\mathrm{det}}\) 表示探测器选择性 TDS。一旦已知布洛赫波的本征值和本征矢量,这个 \(z\) 积分便可解析处理。数值切片积分同样可行,ReciPro 会根据计算模式采用合适的方法。


局域吸收与非局域吸收

吸收势可以用两种主要方式处理。

形式 含义 特点
局域近似 使用仅依赖于位置的吸收势 \(U'(\mathbf r)\) 对宽 ADF / HAADF 探测器通常有效且快速。
非局域形式 使用 \(U'(\mathbf r,\mathbf r')\) 或依赖于入射波与出射波成对组合的矩阵元 \(U'_{\mathbf g,\mathbf h}\) 对窄探测器、重元素或低加速电压更准确,但代价高得多。

在局域近似中,矩阵元可由倒易矢量差(如 \(U'_{\mathbf g-\mathbf h}\))求得。在非局域形式中,每一对 \((\mathbf g,\mathbf h)\) 都需要各自的角度积分,因此计算代价随束数迅速增长。


布洛赫波 STEM 的适用范围

布洛赫波 STEM 对于高度周期性的完美晶体很快,非常适合对厚度、欠焦和探测器角度进行系统比较。对于缺陷、大型超胞或非周期性结构,诸如冻结声子多层切片(frozen-phonon multislice)之类的方法可能更合适,因为它们不依赖于相同的小周期胞假设。

在 ReciPro 中,理解 STEM 最简单的方式如下:从与 CBED 相同的会聚波出发,然后将衍射盘可观测量替换为对衍射平面的探测器积分。


实用参数

  • 探测器角度:BF / ABF / ADF / HAADF 是 \(D(\mathbf Q)\)\(f'_{\kappa}(\mathbf g;\theta_1,\theta_2)\) 的定义。
  • 束数:高频图像分量和通道效应对所纳入的束数较为敏感。
  • 厚度步长:若使用数值切片积分,请检查将切片厚度减半时的变化。
  • 角分辨率:决定探针方向网格 \(N\)(参见探针的角度采样)。计算量按 \(N^{2}\) 增长,因而是左右计算时间的最主要因素。
  • TDS 模型:对于 HAADF \(Z\) 衬度,TDS 项与弹性项同等重要。

另请参阅