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STEM 計算

STEM 影像計算從與 CBED 相同的會聚探針表示出發。差異在於可觀測量:CBED 顯示繞射平面中的盤強度,而 STEM 掃描探針位置,並在每個位置積分進入所選偵測器的強度。


可觀測量

\(\mathbf R_0\) 為探針位置,\(\mathbf Q\) 為繞射平面座標,\(t\) 為試樣厚度。若偵測器函式 \(D(\mathbf Q)\) 在偵測器角度範圍內為 1、範圍外為 0,則彈性 STEM 強度為

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{ela}}(\mathbf R_0)= \int D(\mathbf Q)\, \left|\psi(\mathbf Q,t;\mathbf R_0)\right|^2\,d\mathbf Q\]

BF、ABF、LAADF 和 HAADF 對應於 \(D(\mathbf Q)\) 中內、外角度的不同選擇。因此改變 STEM 偵測器角度會改變所積分的物理量;這不僅僅是一項顯示設定。


透過傅立葉係數加速

直接的實作會對每個被掃描的探針位置 \(\mathbf R_0\) 重新求解動力學問題。會聚探針表達式具有一個有用的結構:對 \(\mathbf R_0\) 的依賴以相位因子的形式出現

\[\exp(-2\pi i\,\mathbf K\cdot\mathbf R_0)\]

這使得 ReciPro 可以先計算影像的二維傅立葉係數,而不必逐點計算 \(I_{\mathrm{STEM}}(\mathbf R_0)\)。從概念上講,

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{ela}}(\mathbf q)= \sum_{\mathbf g,\mathbf h} F_{\mathbf g,\mathbf h}(t)\, \delta(\mathbf q-\mathbf g+\mathbf h)\]

因此一旦已知係數 \(F_{\mathbf g,\mathbf h}(t)\),便可透過逆傅立葉變換高效地重建完整的掃描影像。

這是布洛赫波 STEM 對於具有小晶胞的完美晶體的主要優勢。它可以比在每個探針位置重複一次多層切片(multislice)計算快得多。


重建為實數影像

影像由係數依下式還原:

\[I(\mathbf r)=\sum_{\mathbf q}I(\mathbf q)\,\exp(2\pi i\,\mathbf q\cdot\mathbf r), \qquad \mathbf q=\mathbf g-\mathbf h\]

由於 \(I(\mathbf r)\) 是實數強度,其係數必須嚴格滿足厄米對稱性:

\[I(-\mathbf q)=I(\mathbf q)^{*}\]

而由所有束對產生的 \(\mathbf q\) 集合在 \(\mathbf q\rightarrow-\mathbf q\) 下是封閉的。因此該求和在構造上即為實數,任何殘留的虛部都是數值誤差而非物理

實際上確實會殘留很小的虛部,因為 \(\mathbf k+\mathbf q\) 處的振幅是在有限的入射方向格點上以雙線性內插取得的(參見探針的角度取樣)。這使得 \(I(-\mathbf q)\)\(I(\mathbf q)^{*}\) 相差 \(h^{2}\) 量級,其中 \(h\) 為角度步長。

將求和後的像素寫作 \(a+ib\),把它歸約為實數影像的正確作法是取實部 \(a\)。這是往實軸的正交投影,與先將係數對稱化

\[I_{\mathrm{sym}}(\mathbf q)=\tfrac12\left[I(\mathbf q)+I(-\mathbf q)^{*}\right]\]

再求和完全等價。而取絕對值 \(\sqrt{a^{2}+b^{2}}\simeq a+b^{2}/2a\) 並不等價,且在四個方面都是錯誤的:

  • 額外項 \(b^{2}/2a\) 恆為正,因而永不抵消——這是偏差而非雜訊;
  • \(a\) 較小處,也就是像素處,它相對訊號最大,因此侵蝕的是影像對比而非整體亮度;
  • 它破壞線性性,由於 \(\lvert z_1+z_2\rvert\neq\lvert z_1\rvert+\lvert z_2\rvert\),合成影像不再等於彈性 + TDS;
  • 它掩蓋負值像素,而負值正是 \(\mathbf q\) 取樣不足的可見徵兆,本應作為對使用者的警示保留下來。

因此 ReciPro 的彈性、TDS 與 STEM-EDX 影像皆由實部重建,且僅在光源尺寸造成的模糊之後才截斷至零,使真正為負的像素在此之前始終可被偵出。

Note

4.944 以前的版本對彈性影像與 TDS 影像取絕對值求和。在預設角度格點下,其差異遠低於任何可察覺的水準(見下表);只有刻意採用粗格點時才會變得可測,且呈現方式始終是暗像素略微變亮。


探針的角度取樣

入射錐在步長為 \(\Delta\alpha\)STEM 選項中的角解析度)的方形方向格點上取樣,以少量餘裕涵蓋會聚半角 \(\alpha\)。沿一軸的分割數為

\[N=\left\lceil\frac{2\alpha\times1.05}{\Delta\alpha}\right\rceil\]

因而方向數——亦即需求解的本徵值問題數——按 \(N^{2}\) 增長。此格點與掃描點數無關:它離散化的是探針內部的方向,而非探針的位置

它也是上述厄米殘差的唯一來源,因此該殘差可直接作為收斂指標。下列數值測自 SrTiO₃ [001]、200 kV、\(\alpha=25\) mrad、128 束、32×32 掃描點。「殘差」為 \(\max_{\mathbf q}\lvert I(\mathbf q)-I(-\mathbf q)^{*}\rvert\) 相對 \(I(\mathbf 0)\) 的值,右側兩欄為取絕對值求和原本會在最亮像素上增加的變亮量。

\(N\) 方向數 彈性殘差 TDS 殘差 絕對值偏差(彈性) 絕對值偏差(TDS)
16 256 1.2×10⁻³ 6.1×10⁻³ 2.4×10⁻⁵ 1.1×10⁻⁴
32 1024 4.1×10⁻⁴ 2.6×10⁻³ 1.1×10⁻⁶ 1.3×10⁻⁵
64 4096 5.6×10⁻⁵ 7.2×10⁻⁴ 5.8×10⁻⁸ 4.3×10⁻⁷
132 17424 3.8×10⁻⁵ 1.1×10⁻⁴ 4.2×10⁻⁸ 3.6×10⁻⁸

預設角解析度 0.4 mrad 對 \(\alpha=25\) mrad 給出 \(N=132\),已處於收斂區。另有兩點值得注意:

  • 在任何格點下,TDS 殘差都比彈性殘差大約一個量級,因為 TDS 係數還多帶了一重偵測器選擇吸收的厚度積分。
  • 殘差是對全部 \(\mathbf q\) 取的最大值,因此逐格點略有起伏而非完全平滑下降;其背後的趨勢為 \(O(h^{2})\)

TDS 與偵測器選擇性吸收

在 HAADF-STEM 中,來自熱漫散射 (TDS) 的非彈性分量往往是影像對比的主要來源。ReciPro 將 TDS 處理為從彈性通道中移除並進入所選角度範圍的強度,並用吸收位能來表示。

對於偵測器角度範圍 \(\theta_1\leq\theta\leq\theta_2\),偵測器選擇性吸收散射因子在概念上可寫為

\[f'_{\kappa}(\mathbf g;\theta_1,\theta_2)= \int_{\theta_1}^{\theta_2}\sin\theta\,d\theta \int_0^{2\pi} \left|\Delta f_{e,\kappa}(\mathbf g,\theta,\phi)\right|^2\,d\phi\]

將該範圍選取為與 BF、ADF 或 HAADF 偵測器相匹配,即可計算出進入該偵測器的 TDS 貢獻。

STEM TDS 強度是偵測器選擇性吸收的厚度積分:

\[I_{\mathrm{STEM}}^{\mathrm{TDS}}(\mathbf R_0)= \int_0^t \langle\psi(z;\mathbf R_0)|\widehat W_{\mathrm{det}}|\psi(z;\mathbf R_0)\rangle\,dz\]

其中 \(\widehat W_{\mathrm{det}}\) 表示偵測器選擇性 TDS。一旦已知布洛赫波的本徵值和本徵向量,這個 \(z\) 積分便可解析處理。數值切片積分同樣可行,ReciPro 會根據計算模式採用合適的方法。


局域吸收與非局域吸收

吸收位能可以用兩種主要方式處理。

形式 含義 特點
局域近似 使用僅依賴於位置的吸收位能 \(U'(\mathbf r)\) 對寬 ADF / HAADF 偵測器通常有效且快速。
非局域形式 使用 \(U'(\mathbf r,\mathbf r')\) 或依賴於入射波與出射波成對組合的矩陣元 \(U'_{\mathbf g,\mathbf h}\) 對窄偵測器、重元素或低加速電壓更準確,但代價高得多。

在局域近似中,矩陣元可由倒易向量差(如 \(U'_{\mathbf g-\mathbf h}\))求得。在非局域形式中,每一對 \((\mathbf g,\mathbf h)\) 都需要各自的角度積分,因此計算代價隨束數迅速增長。


布洛赫波 STEM 的適用範圍

布洛赫波 STEM 對於高度週期性的完美晶體很快,非常適合對厚度、欠焦和偵測器角度進行系統性比較。對於缺陷、大型超胞或非週期性結構,諸如凍結聲子多層切片(frozen-phonon multislice)之類的方法可能更合適,因為它們不依賴於相同的小週期胞假設。

在 ReciPro 中,理解 STEM 最簡單的方式如下:從與 CBED 相同的會聚波出發,然後將繞射盤可觀測量替換為對繞射平面的偵測器積分。


實用參數

  • 偵測器角度:BF / ABF / ADF / HAADF 是 \(D(\mathbf Q)\)\(f'_{\kappa}(\mathbf g;\theta_1,\theta_2)\) 的定義。
  • 束數:高頻影像分量和通道效應對所納入的束數較為敏感。
  • 厚度步長:若使用數值切片積分,請檢查將切片厚度減半時的變化。
  • 角解析度:決定探針方向格點 \(N\)(參見探針的角度取樣)。計算量按 \(N^{2}\) 增長,因而是左右計算時間的最主要因素。
  • TDS 模型:對於 HAADF \(Z\) 對比,TDS 項與彈性項同等重要。

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