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HRTEM / STEM Simulator

HRTEM/STEM 模擬器可模擬 TEM 晶格條紋影像 (HRTEM)、STEM 影像以及投影位能。點按 Simulate 即可執行計算。

HRTEM/STEM 模擬器


鍵盤與滑鼠快速鍵

結果會以一個或多個影像窗格顯示。它們採用 ReciPro 的標準影像檢視導覽,且所有窗格會一起平移與縮放。

快速鍵 動作
F1 開啟線上手冊的本頁
CTRL+C (聚焦於影像網格時) 將影像以中繼檔 (metafile) 複製到剪貼簿
左鍵拖曳 / 中鍵拖曳 平移影像 (所有窗格一起移動)
滑鼠滾輪向上 / 向下 在游標處放大 (×2) / 縮小 (×0.5)
以右鍵拖曳出方框 放大至所選區域
右鍵點按 / 右鍵雙擊 縮小 (×0.5)
CTRL + 以右鍵拖曳出方框 選取矩形區域
左鍵雙擊某窗格 將該窗格最大化 / 還原格線 (多窗格版面)
移動滑鼠 (不按鍵) 讀取游標處的位置 (pm) 與像素值

→ 請參閱 21. 鍵盤與滑鼠快速鍵,一覽每個視窗的快速鍵。


依目標的快速路徑

目標 從何開始 參考
計算單張 HRTEM 影像 Image mode 設為 HRTEM,然後在 TEM conditions 中設定加速電壓與欠焦 HRTEM 模擬HRTEM 成像
計算 STEM 影像 Image mode 設為 STEM,然後在 STEM options 中設定會聚角與偵測器 STEM 模擬STEM 計算
檢視投影位能 Image mode 設為 Potential 位能模擬
產生厚度 / 欠焦序列 HRTEM options 中設定 Single / Serial 與影像條件 HRTEM 模擬
搭配 TDS 使用 HAADF-STEM 將原子溫度因子設為非零值,並使用 LAADF / HAADF 偵測器 STEM 計算

基本工作流程

  1. 在主視窗中選取晶體與方位,然後開啟此模擬器。
  2. Image mode 中選擇 HRTEMSTEM 或 Potential。
  3. Optical property 中設定加速電壓、欠焦、像差、光闌與 STEM 會聚設定。
  4. Simulation property 中設定厚度、影像尺寸、解析度、布洛赫波數量與部分同調模型。
  5. 點按 Simulate,然後在 Display settings 中調整亮度、正規化、比例尺與標籤。

影像區

視窗的左半部顯示模擬影像。頂端的狀態列會回報游標位置 (X:Y:) 與游標下方的影像 Value: (強度),旁邊還有一個反映目前色階與亮度範圍的 Low → High 強度刻度。


檔案選單

說明選單


Image mode / Sample

影像模式

HRTEM、Potential 或 STEM

試樣 設定試樣厚度。

Optical property

TEM conditions

TEM 條件

加速電壓、欠焦 (顯示 Scherzer 值)。

Acc. voltage

電子顯微鏡的加速電壓。變更此值會更新經相對論修正的波長 (顯示於欄位旁),並與 Cs 一起更新下方顯示的建議 Scherzer defocus 值。

Defocus

物鏡的欠焦值。Scherzer 欠焦 (在弱相位物體近似下使相位襯度傳遞最大化的值) 顯示於下方作為參考。

Inherent property (HRTEM optical aberrations)

供透鏡函式計算使用的顯微鏡專屬像差參數。

  • Cs — 球面像差係數。
  • Cc — 色像差係數。
  • β — 照明半角 (有限光源效應)。
  • ΔE — 電子能量起伏的 1/e 寬度。

Lens function

透鏡函式的圖。調整 u 的上限會改變繪圖範圍。

  • sin[χ(u)] — 相位襯度傳遞函式 (PCTF)。
  • E_s(u) — 空間同調包絡函式。
  • E_c(u) — 時間同調包絡函式。

Objective aperture (HRTEM option)

物鏡光圈 (HRTEM 選項)

Cs、Cc、beta、delta-E、PCTF、空間/時間同調包絡、物鏡光闌。

Size

物鏡光闌大小,單位 mrad。勾選 Open aperture 可移除光闌。納入布洛赫波計算的繞射點數量取決於光闌;其上限由 Simulation property 中的 Max Bloch waves 值所限制。

Shift

光闌的水平位移,單位 mrad — 用於模擬 HRTEM 中偏移的物鏡光闌。

Spot info

開啟通過光闌的反射之詳細點清單 (強度、複數振幅等)。當同時開啟繞射模擬器以便比較時相當方便。

STEM options (optical)

STEM 選項(光學)

Convergence semi-angle

會聚探針的半角 (mrad)。控制 STEM 探針的大小與模擬影像的空間解析度。

Detector geometry

環形偵測器的內 / 外收集角 (mrad)。可在 BF (內角小)、ABF、LAADF、HAADF (內角大) 之間選擇。

Scan area / step

STEM 影像的掃描視野與像素大小。


Simulation property

HRTEM options

HRTEM 選項

Max Bloch waves、影像像素/解析度、部分同調 (quasi-coherent / TCC)、Single/Serial 模式。

Max Bloch waves

動力學計算中所用布洛赫波的最大數量。增加此值可提升準確度,但代價是 O(N³) 的本徵值求解時間。

Image property (pixels & resolution)

模擬影像的像素尺寸與取樣解析度。較高的解析度可得到較細的條紋圖樣,但每個切片的 FFT 時間也會成比例增加。

Partial-coherent model

在合併來自所有入射束方向的貢獻時,如何處理波的干涉。

  • Quasi-coherent — 快速的近似模型,將相位襯度傳遞函式乘上空間與時間同調包絡。
  • Transmission cross coefficient (TCC) — 更準確的模型,對完整的穿透交叉係數進行積分。較慢,但在線性成像範圍內為精確值。

請參閱 附錄 A3.2 — HRTEM 成像

Single / Serial mode

  • Single image — 在 Sample property 設定的厚度與 Optical property 設定的欠焦下模擬單張影像。
  • Serial image — 依各自的 Start / Step / Num 產生厚度 × 欠焦矩陣。可用於尋找與實驗影像最匹配的條件。

STEM options (simulation)

STEM 選項(模擬)

  • Bloch wave count — 與 HRTEM 的作用相同,套用於每個探針位置。
  • Angular resolution — 探針方向積分中的取樣點數。
  • TDS treatment — 是否透過溫度因子 B 納入熱漫散射。使用 LAADF/HAADF 時為必要設定。

Potential options

位能選項

Image mode = Potential 時顯示。

  • Target potential — 選擇 U_g (彈性) 或 U′_g (吸收 / TDS)。
  • Display methodMagnitude and phase,或 Real and imaginary part

Image properties

影像屬性

Diffracted waves

繞射波


Simulate

Simulation actions


Display settings

Adjust

調整

最小/最大亮度、色階、高斯模糊。

Normalization

正規化

Display

顯示

標籤 (厚度/欠焦)、比例尺、晶胞疊加。

STEM image

STEM 影像


STEM 模擬

計算取決於:會聚角、布洛赫波數量、角度解析度。

偵測器 貢獻
BF, ABF 彈性
LAADF, HAADF 非彈性 (TDS)

為了 TDS,請將溫度因子設為非零值 (不確定時可用 B = 0.5 Ų)。HAADF 強度 \(\propto Z^2\)

STEM 模擬比較:Dr. Probe 與 ReciPro

更詳細的報告以 PDF 形式提供:Dr. Probe GUI (v1.10) 與 ReciPro (v4.854) 之 STEM 模擬比較。詳情請參閱 STEM 模擬


另請參閱